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H2O＜1PPM；O2＜1PPM 泄露率：＜0.001vol%h 工作气体：氮气、氩气、氦气 箱体压力：自动压力控制，脚踏开关辅助手动控制 再生气体：N2/Ar/He+ H2混合气 (H2 浓度：5-10 %) 软件：由西门子的PLC和7"彩色触摸屏组成，自动再生程序
热蒸发GT300-S4-6
热蒸发GT400-S4-8
热蒸发GT450-S4-12
磁控溅射镀膜机GT400-Y2-4
磁控溅射镀膜机GT500-Y3-4
磁控溅射镀膜机GT600-Y2
高压电子束蒸发GT400-E1
电子束热蒸发集成 GT500-E1-S6
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