电子束热蒸发集成 GT500-E1-S6 价格：元

膜厚参数：稳定镀膜速率0.1Å/S膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸： 500*500*600mm
真空系统：分子泵（国产/进口）
极限真空：3*10 -5Pa
蒸发源：2-6组蒸发源
电子枪：国产5-12KW电子枪4-6穴坩埚
基片尺寸：4-8英寸可定制
软件：半自动与全自动软件控制

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