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腔体尺寸：400mm*400mm*560mm 真空系统：分子泵/低温泵（国产/进口） 极限真空：小于5*10⁻⁵Pa 蒸发源：4/6/8组蒸发源 基片尺寸： 135mm*135mm（可以往下兼容） 软件：具备一键自动蒸镀功能
热蒸发GT300-S4-6
热蒸发GT450-S4-12
磁控溅射镀膜机GT400-Y2-4
磁控溅射镀膜机GT500-Y3-4
磁控溅射镀膜机GT600-Y2
高压电子束蒸发GT400-E1
电子束热蒸发集成 GT500-E1-S6
热蒸发GT400-GT800集成手套箱
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