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热蒸发GT300-S4-6 价格:

膜厚参数:膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸:300*300*540mm
真空系统:分子泵、低温泵(国产/进口)
极限真空:3*10 -5Pa
蒸发源:4-6组蒸发源
基片尺寸: ≤100×100mm (加热/水冷)
软件:半自动与全自动软件控制

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