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热蒸发GT450-S12 价格:

技术参数
膜厚参数:膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸:450*450*600mm
真空系统:低温泵(国产/进口)
极限真空:3*10 -5Pa
蒸发源:12组蒸发源
基片尺寸: ≤150×150mm (水冷)
控制系统:采用工控机控制,所有操作在工控机界面完成,显示器支持XYZ三轴任意移动,真空系统支持自动/手动模式随时切换,具备一键自动蒸镀功能。

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