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基板尺寸:200mmx200mm 应用领域:AMOLED 有机均匀性≤2%(片内、片间) 金属均匀性:≤2%(片内、片间) 机械对位精度:±0.15mm 有机蒸发源:8pcs/chamber 金属蒸发源:4pcs/chamber
热蒸发GT200-S2
热蒸发GT300-S4-6
热蒸发GT400-S4-8
热蒸发GT450-S4-12
热蒸发GT500-S4-16
热蒸发GT600-S4-12
热蒸发GT700-S4-12
磁控溅射镀膜机GT400-Y2-4
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