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热蒸发GT400-GT800集成1500mm手套箱
水氧含量:H2O<1PPM;O2<1PPM
泄露率:<0.001vol%h
工作气体:氮气、氩气、氦气
箱体压力:自动压力控制,脚踏开关辅助手动控制
再生气体:N2/Ar/He+ H2混合气 (H2 浓度:5-10 %)
软件:由西门子的PLC和7"彩色触摸屏组成,自动再生程序
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GT400-GT800集成1800mm双工位手套箱
水氧含量:H2O<1PPM;O2<1PPM
泄露率:<0.001vol%h
工作气体:氮气、氩气、氦气
箱体压力:自动压力控制,脚踏开关辅助手动控制
再生气体:N2/Ar/He+ H2混合气 (H2 浓度:5-10 %)
软件:由西门子的PLC和7"彩色触摸屏组成,自动再生程序
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GT400-GT800集成2400mm双工位手套箱
水氧含量:H2O<1PPM;O2<1PPM
泄露率:<0.001vol%h
工作气体:氮气、氩气、氦气
箱体压力:自动压力控制,脚踏开关辅助手动控制
再生气体:N2/Ar/He+ H2混合气 (H2 浓度:5-10 %)
软件:由西门子的PLC和7"彩色触摸屏组成,自动再生程序
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