Product
基板尺寸：150×150mm或tray盘模式 进样腔基板数量：10pcs 蒸镀腔数量:GT450x2台(加热/水冷可选) 传输腔:配真空机械手 软件:全自动软件控制
热蒸发GT200-S2
热蒸发GT300-S4-6
热蒸发GT400-S4-8
热蒸发GT450-S4-12
热蒸发GT500-S4-16
热蒸发GT600-S4-12
热蒸发GT700-S4-12
磁控溅射镀膜机GT400-Y2-4
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