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基板规格：0.6mx1.2m 产能：100MW~150MW 蒸发源形式：线源+点线源 膜厚均匀性：≤±5% 速率稳定性:≤±5%
热蒸发GT200-S2
热蒸发GT300-S4-6
热蒸发GT400-S4-8
热蒸发GT450-S4-12
热蒸发GT500-S4-16
热蒸发GT600-S4-12
热蒸发GT700-S4-12
磁控溅射镀膜机GT400-Y2-4
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