高通量设备 价格：元

集成上下料腔、传输腔和多工艺腔的紧凑型镀膜系统。
支持PC/PLC控制工艺配方，可用于单件、批量或自动化生产，可轻松创建与修改复杂工艺配方。
支持热蒸发、磁控溅射、电子束蒸发等工艺集成。
先进的数据记录与过程追踪功能，确保工艺稳定、可重复。
高分辨率控制实现优异的低速率稳定性与稳定的掺杂比例。
中央控制台统一管理各模块，并调度各腔室工艺进程。

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