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GT600-多功能样品处理系统 价格:

系统应用:RPD Eth/PWCVD
腔体尺寸:Φ600*380mm
样品台尺寸:100-400mm
样品台升降:0-200mm
真空系统:分子泵/干泵(国产/进口)
空压精度:±0.01Torr
软件:半自动与全自动软件控制

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