磁控热蒸发集成GT600-Y2-S6 价格：元

膜厚参数：膜厚均匀性 ≥95%
蒸发腔体尺寸：600*600*660mm
磁控腔体尺寸：600*600*550mm
真空系统：分子泵（国产/进口）
热发腔体极限真空：3*10 -5Pa
磁控腔体极限真空：5*10 -5Pa
蒸发源：2-16组蒸发源（束源、舟源）
真空靶：3-6寸，2-3个（国产/进口）
基片尺寸：可定制，可选择加热或水冷功能
软件：半自动与全自动软件控制，带有一键自动镀膜工艺

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