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H2O<1PPM;O2<1PPM 泄露率:<0.001vol%h 工作气体:氮气、氩气、氦气 箱体压力:自动压力控制,脚踏开关辅助手动控制 再生气体:N2/Ar/He+ H2混合气 (H2 浓度:5-10 %) 软件:由西门子的PLC和7"彩色触摸屏组成,自动再生程序
热蒸发GT300-S4-6
热蒸发GT400-S4-8
热蒸发GT450-S4-12
磁控溅射镀膜机GT400-Y2-4
磁控溅射镀膜机GT500-Y3-4
磁控溅射镀膜机GT600-Y2
高压电子束蒸发GT400-E1
电子束热蒸发集成 GT500-E1-S6
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