热蒸发GT600-S6
电源：1台大功率蒸发电源，电源功率1.5KW，精度0.1A，用于舟源蒸发材料；4台小功率蒸发电源，电源功率0.2KW，精度0.1A，用于束源蒸发材料。
蒸镀速率:舟源可蒸金属: 以Ag为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±6%(0.1-0.5A/s)，≤±5%(0.5-10A/s)，≤±4%(>10A/s)；单片内膜厚匀性≤5%。束源可蒸有机: 以Bcp为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±6%(0.1-0.5A/s)，≤±5%(0.5-10A/s)，≤±4%(>10A/s)；单片内膜厚匀性≤5%。
真空腔体:配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。
软件：带有一键自动蒸镀功能，即软件设置好所有材料的相关参数，即可完成抽真空，电源升降功率，电机旋转，材料切换，开关挡板等所有动作。